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[ 사양 ]
본 체 치 수 외부 치수 W527 X D845 X H380 (㎜)
DISH 사용가능 매수 Micro drop GPS DISH
가습방식 무가습방식 (DRY)
전원 220V
본체무게 60kg
온 도 제어방식 Digital PID 방식
사용환경온도 24℃~28℃
제어범위 36℃~39℃
변동폭 ±0.3℃ (온도 26℃ 일때)
메인 히터  실리콘 고무 히터 
XY축 사양 이동범위 ±100㎜ (X축) ±150㎜ (Y축)
반복위치결정정도 ±10㎛이내
최고속도 30㎜/sec
Z축 사양 이동범위 5㎜
반복위치결정정도 ±0.3㎛이내
최고속도 5㎜/sec
야 광 계 카메라 130만화소 CCD Camera
대물렌즈 10X
조명용야광 적색 LED 조명 
사 진 사진저장형식 JPEG
사진보존방식 NAS (미러링크 기능 4TBx2)